暖通空调基础知识：半导体无尘室黄光区操作规则

3.己上妥光阻，而在等候对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内，盒盖有必要盖妥。

4.光罩运用时应持取边际，不得触及光罩面，任何情况之下，光罩铬膜不得与他物触摸，以防刮伤，光罩之落尘能够氮吹之。

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